金刚石线切割机配置了更为精密的数控系统,具备先进合理的工艺控制和切割线张力控制与监测系统。将线速度提高到1000m/min以上;进给速度提高到1-5mm/min;生产效率提高了2-3倍。
金刚石切割线技术作为新的切割技术,有着提高切割出片率、降低硅片损耗、降低污水排放等优势,可以大幅降低硅片生产商的成本,目前金刚石切割线技术正在硅片生产行业中逐步取代老式的砂浆切割技术。
金刚石线切割机在使用前需做好下面这些准备:
一:检查
1.1检查设备周边环境是否安全;
1.2检查压缩空气是否正常;
1.3检查设备润滑油杯是否有油;
1.4检查水箱是否有冷却切削液;
1.5摇动设备各运动部件手柄是否正常;
1.6检查工具、工装是否齐备并状态良好。
二:开机
2.1启动设备控制总电源;
2.2启动设备加工程序编制电脑;
2.3打开水泵开关,检查切削液循环系统是否正常;
2.4检查贮丝筒,看是否能够正常运转;此项检查必须在贮丝筒无绕线的前提下进行,或金刚石线正常绕制在贮丝筒上并紧固时进行检查;
2.5打开HF线切割编程一体化软件,做好编程准备。
三:上线
3.1调整贮丝筒使之向贮丝筒调节手柄方向移动,使贮丝筒上靠近手柄的紧固螺钉与设备下部两导线轮,尽可能在同一条直线上;
3.2将上线车的电镀金刚石线绕在设备贮丝筒上(绕制约120米),通过张紧轮张紧金刚石线,紧固电镀金刚石线在贮丝筒上;
3.2松开贮丝筒靠近手柄方向的紧固螺钉,将贮丝筒上金刚石线绕制导线轮上,导线轮绕制方向,绕制后线头继续紧固在贮丝筒螺钉上,调整贮丝筒上金刚石线匝间距,确保每匝互不压线,使用气缸张紧金刚石线,气压表调制3.5MPA;
3.3调整金刚石线切割机贮丝筒限位开关,确保贮丝筒运动时两边均有5-10匝的安全距离,锁死限位开关移块螺钉;
3.4将贮丝筒挡板放置在位置。
四:装夹
4.1将工件及工装的两接触面清洗干净,将工件放置在工装上,工件定位面与工装圆盘接触,使用尺寸调整工装与工件大致同心,螺钉与工件之间用毛毡与钢板垫层(相互接触顺序为:工件、毛毡、钢板、螺钉),锁紧工装装夹螺钉;
4.2将502胶水滴入工件与工装接触面;
4.3待胶水粘接牢固后将工装与数控转盘链接,锁紧链接螺钉;
4.3移动料落保护装置,使料落保护装置不与工件旋转及设备导线轮发生干涉的情况下,无限接近于工件,固定锁紧料落保护装置;
4.4手动设备X、Y轴手柄,使金刚石线与工件切割处尽可能接近而不接触,调整冷却水管位置,使冷却水良好进入切割缝;
4.5将设备有机玻璃保护罩放置在工作台上,确保稳固;